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第415章 暗室微光（第2页）

汪韬推了推眼镜，眼中闪过一丝狂热，但也有一丝犹豫。

“理论上可行。这叫计算成像。但是，计算量是天文数字。”

“要从一堆杂乱的光斑里，猜出纳米级的结构，每一次测量，都需要进行数亿次的迭代运算。”

“按照现在的算力，检测一片晶圆，可能需要一个月。”

“太慢了。”王海冰摇头，“产线等不起。”

“那就用库。”汉斯突然开口。

“我们可以预先建立一个庞大的散射特征库。”汉斯解释道，“我们模拟出千万种可能的光刻胶缺陷形态，如倒塌、桥接、驻波，然后计算出它们对应的散射光斑。”

“当实际测量时，我们不需要实时解方程。”

“我们只需要把测到的光斑，去和数据库里的样本进行指纹比对！”

“这就变成了AI图像识别问题。”

“这个我在行！”汪韬猛地一拍大腿，“用盘古做特征匹配，毫秒级就能出结果！”

“但这需要海量的训练数据。”

“数据我有。”林远从公文包里拿出一个硬盘，“这是我们之前在ASML做测试时，偷偷保存下来的，几百万张缺陷扫描图和对应的散射数据。”

“那是我们的种子。”

疯狂的盲人摸象。

方案确定，立刻执行。

这是一套极其简陋，却又极其科幻的检测系统。

没有昂贵的镜头，没有真空腔体。

只有一个暗盒，一束激光和一个连接着青川智算中心的数据线。

“第108号样品，上机。”

激光打在晶圆上，反射出一圈圈迷离的光晕。

数据疯狂上传。

青川，数千张GPU卡全速运转，在浩瀚的数据库中寻找匹配的指纹。

五分钟后。

屏幕上，不再是模糊的照片，而是一个由计算机生成的3D模型。

模型清晰地显示：光刻胶的线条边缘，出现了锯齿状的“驻波效应”。

“看清了！”赵博士激动得跳了起来，“是驻波！是因为底部抗反射涂层的折射率没调好！”

“调整BARC配方！折射率增加0.02！再试！”

虽然这套系统的精度约2纳米不如SEM，速度也慢，但它让墨子团队，终于在黑暗中，看到了一丝微光。

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闭环，重新接通了。

解决了看的问题，接下来是更难的造的问题。

江钢集团，焦化厂，精制车间。

这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌，空气中充满了硫化氢和苯的味道。

谁能想到，纳米级光刻胶的源头，竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。