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但没人退缩。
孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。
“老子就不信了,炼钢能炼出花来,炼个油还能被尿憋死?”
第83次实验。
失败。纯度99.95%。
第156次实验。
失败。纯度99.99%。
第214次实验。
时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存,只剩下最后三天。
中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里,请求国家出面协调进口。
压力,全部压在了林远身上。
这天凌晨。
汉斯突然冲进了林远的办公室,手里举着一个小小的玻璃瓶。
瓶子里,是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。
“林!成功了!”
“我们用乙二胺+特制分子筛的组合,成功把沸点差拉大到了8度!”
“这是刚刚出来的色谱分析报告。”
林远接过报告,目光直接落在了最后一行。
纯度:99.%(6N)。
金属离子:<5ppb。
“合格了!”
林远的手,微微颤抖。
这瓶看似普通的液体,是中国半导体材料史上的一座丰碑。
它意味着,我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断。
有了高纯单体,“墨子材料”的配方终于发挥了威力。
再加上“计算成像”检测系统的辅助,光刻胶的良率开始爬坡。
30%……60%……85%……
一周后。
第一批500公斤国产ArF浸没式光刻胶,连同配套的显影液,被紧急运往了中芯国际的生产线。
上机测试。
曝光,显影,刻蚀。
当最终的良率报告出来时,中芯的总工沉默了。
良率:99.2%。
这不仅达到了日本货的水平,甚至在某些关键层,如多晶硅栅的刻蚀选择比上,超过了日本JSR的产品!
为什么?
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