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第415章 暗室微光(第4页)

但没人退缩。

孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。

“老子就不信了,炼钢能炼出花来,炼个油还能被尿憋死?”

第83次实验。

失败。纯度99.95%。

第156次实验。

失败。纯度99.99%。

第214次实验。

时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存,只剩下最后三天。

中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里,请求国家出面协调进口。

压力,全部压在了林远身上。

这天凌晨。

汉斯突然冲进了林远的办公室,手里举着一个小小的玻璃瓶。

瓶子里,是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。

“林!成功了!”

“我们用乙二胺+特制分子筛的组合,成功把沸点差拉大到了8度!”

“这是刚刚出来的色谱分析报告。”

林远接过报告,目光直接落在了最后一行。

纯度:99.%(6N)。

金属离子:<5ppb。

“合格了!”

林远的手,微微颤抖。

这瓶看似普通的液体,是中国半导体材料史上的一座丰碑。

它意味着,我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断。

有了高纯单体,“墨子材料”的配方终于发挥了威力。

再加上“计算成像”检测系统的辅助,光刻胶的良率开始爬坡。

30%……60%……85%……

一周后。

第一批500公斤国产ArF浸没式光刻胶,连同配套的显影液,被紧急运往了中芯国际的生产线。

上机测试。

曝光,显影,刻蚀。

当最终的良率报告出来时,中芯的总工沉默了。

良率:99.2%。

这不仅达到了日本货的水平,甚至在某些关键层,如多晶硅栅的刻蚀选择比上,超过了日本JSR的产品!

为什么?

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