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第426章 深紫深渊（第2页）
“能不能自己造IBS？”林远问。
“原理我们懂。但是，核心的射频离子源，需要极其精密的磁场约束和栅极加工。国内的离子源，束流不稳定，打出来的膜厚度不均匀。”张教授摇头。
林远沉默了。
没有设备，巧妇难为无米之炊。
“既然物理镀膜走不通……”
林远盯着那个烧蚀的黑点。
“那我们就用化学。”
“ALD原子层沉积。”
林远看向李振声。
“我们在普罗米修斯计划里，不是搞到了TDMAT的前驱体工艺吗？那是用来做半导体栅极的。”
“现在，我要你们把ALD技术，用到光学镀膜上！”
“ALD是一层一层原子长的。它的致密度，比IBS还要高！”
“但是，”张教授犹豫道，“ALD太慢了。长一微米要几天。而且，ALD可用的光学材料太少，折射率匹配很难。”
“那就做混合膜系。”
林远在白板上画了一个三明治结构。
“底层：用国产电子束镀膜，做厚度。”
“表层：用ALD镀一层50纳米的致密保护层，做封孔！”
“就像给疏松的墙面，刷一层防水漆。”
“只要水分子进不去，LIDT阈值就能提上来！”
这是一个典型的“土法炼钢”思路，用两种低端工艺的组合，去逼近高端工艺的效果。
方案确定，立刻执行。
经过两周的折腾，第一批采用E-beam+ALD复合工艺的镜片下线了。
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上机测试。
激光器启动。波长193nm，功率10W。
十分钟过去了。膜没破。
三十分钟过去了。膜依然完好。
“成功了！”张教授激动得握紧了拳头。
但是，负责算法的汪韬，却皱起了眉头。
“不对。光斑散了。”
屏幕上，原本应该汇聚成一个针尖大小的焦点，此刻却变成了一个模糊的光晕。
“焦距漂移了。”汪韬看着数据，“漂移了整整2毫米。这对于纳米级的光刻计算来说，误差是致命的。”
“为什么会漂移？”林远问。
“热透镜效应。”李振声教授叹了口气。
“虽然膜没破，但它依然有微弱的吸收。吸收产生热量。”
“镜片受热，中间膨胀，折射率发生变化。原本的平光镜，变成了一个凸透镜。”
“而且，这个效应是动态的。功率越高，透镜效应越强。焦点就跑得越远。”
“这是物理规律，没法消除。除非你能把吸收率做到零，那是上帝才能做到的事。”
死局。
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