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第427章 新问题的出现（第5页）

“这就是SSMB的威力。”丁院士摘下眼镜，擦了擦眼角的泪水，“这是中国的第一束工业级粒子光。”

林远看着那道看不见的紫外光束在屏幕上显示为紫色光斑。

他知道，光刻机的光源问题，彻底解决了。

不需要KBBF晶体了。

不需要受制于人了。

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他用一个缩小版的“粒子加速器”，造出了世界上最强的深紫外灯泡。

虽然光源造出来了，但这个“灯泡”有点太大了。

整套系统占地200平方米。

目前的半导体工厂Fab，寸土寸金。要把这么个大家伙塞进光刻车间，需要对厂房进行伤筋动骨的改造。

而且，还有一个致命的问题辐射。

电子加速会产生高能辐射X射线、伽马射线。

“我们需要给它穿上一层铅衣。”王海冰计算着，“至少需要500吨的铅和混凝土屏蔽层。”

“这会压垮厂房的地基。”

林远看着那个庞然大物。

“既然厂房装不下……”

“那我们就光电分离。”

“把光源建在厂房外面，建在地下。”

“然后，通过光束传输线把光引到光刻机里去！”

“就像自来水一样。”

“我们要建一座光子工厂PhotonFactory。”

“一座光源，可以同时给十台、二十台光刻机供光！”

这又是一个颠覆性的概念。

ASML的光刻机，是一机一源。

林远要搞“一源多机”。

这将彻底改变半导体工厂的形态。

但是，要传输193nm的深紫外光，普通的镜子不行，光纤也不行。空气都会吸收它。

需要“超高真空管道”和“多层膜反射镜”。

而这，又将触碰到另一个材料学的禁区。

林远刚放下的心，又悬了起来。

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