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第429章 拦路虎(第3页)

接下来就是实战了。

巨大的机床上,机械臂带着磁流变喷头,在巨大的萤石镜片上缓缓移动。

没有噪音,没有火花。

只有黑色的磁流变液,像丝绸一样滑过镜面。

这就是原子级切削。

每一次拂过,带走几层原子。

一周后。

检测结果:RMS=0.35nm。

山田光一看着那块如同一汪清水般的镜片,跪在地上,泣不成声。

“这是……神迹。”

镜子磨好了。

但怎么装?怎么测?

这块镜子重达几百公斤。把它竖起来,重力会让它发生微米级的形变。

对于0.5纳米的精度要求来说,微米级的形变简直是灾难。

而且,没有Zygo干涉仪,怎么知道它磨对了没有?

“我们没有干涉仪。”王海冰绝望地说,“没有尺子,我们怎么知道布匹的长度?”

“那就造一把尺子。”

林远看向汉斯。

“汉斯,你还记得ASML是怎么测镜子的吗?”

“他们也不用Zygo。”汉斯说,“对于这种超大口径,他们用点衍射干涉仪(PDI)。”

“不需要大口径的标准镜,只需要一个针孔。”

激光通过一个微米级的针孔,衍射出完美的球面波。

用这个完美的球面波作为基准,去和被测镜面的反射波进行干涉。

“这不需要复杂的透镜,只需要精密的机械结构。”

“但是,”汉斯皱眉,“要在重力环境下测量,必须把镜子卸载。”

“卸载?”

“对。用几十个支撑点,把镜子的重力抵消掉,模拟太空中的失重状态。”

“这需要极其复杂的主动支撑系统。”

林远调来了石头科技的机器人团队。

“张博,我要你们做一个液压+压电混合支撑床。”

“粗调,36个液压囊,承担镜子99%的重量。精调,每个液压囊上,装一个压电陶瓷致动器。”

“然后,用AI实时计算镜子的受力变形。当重力把镜子往下拉时,压电陶瓷就往上顶。”

“我们要让这块几百公斤的玻璃,在地球上漂浮。”

三个月后。

江州,恒温恒湿控制在0.01度的超净装配车间。

一座高达3米的巨大金属塔矗立在中央。

这就是启明-NikonHigh-NA物镜系统。

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