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黄河拒绝得很干脆。
“做不到也要做。”林远拿出了那块烧毁的芯片照片。
“1500W/cm2。没有你的钻石,我的芯片就是废铁。”
“黄博士,我给你投20个亿。”
“我要你在三个月内,解决大尺寸金刚石晶圆生长和超精密抛光两个问题。”
“20亿?”黄河的眼皮跳了一下。
这笔钱,足够他买下半个柘城的工厂了。
“钱是好东西。但物理规律不认钱。”黄河叹了口气,指了指厂房深处的一个封闭车间。
“跟我来。让你看看真正的难点在哪。”
封闭车间里,摆放着几台进口的微波等离子体化学气相沉积设备。
这是生长高品质金刚石的神器。利用微波激发甲烷和氢气,产生等离子体,碳原子在基底上层层沉积,长成钻石。
“看这个。”黄河指着视窗里那团耀眼的紫色光球。
“我们要长4英寸的片子,需要极高功率的微波源和极大的等离子体球。”
“但是,当等离子体球变大时,边缘的温度和中心温度就会不一致。”
“结果就是翘曲。”
黄河拿出一片废弃的4英寸金刚石晶圆,放在平整的桌面上。
肉眼可见,晶圆像薯片一样翘了起来。
“翘曲度:500微米。”
“林董,你的光子芯片是平的。我的钻石是弯的。”
“强行压在一起?啪!两个都碎。”
“这是内应力造成的。金刚石生长时温度800度,冷却到室温,热胀冷缩,内应力巨大。”
“不解决应力问题,钻石永远只能做首饰,做不了晶圆。”
林远看着那片“薯片”。
“既然一次长不平……”
“能不能拼?”
“拼?”黄河一愣。
“对。马赛克拼接。”林远提出了方案。
“我们不需要一整块4英寸的钻石。我们只需要在芯片发热最厉害的那个区域,垫一块小钻石。”
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“把大问题拆解成小问题。”
“我们把高品质10mmx10mm的小块金刚石,像贴瓷砖一样,拼在一个硅载体上。”
“小块的翘曲度可以控制在微米级。然后再进行统抛光。”
黄河摸了摸下巴:“拼接这倒是可行。但是,缝隙怎么办?激光器要是正好跨在缝隙上,热量散不出去,还是炸。”
“那就用晶圆级精准对位。”王海冰插话道,“我们在设计芯片时,避开缝隙。让发热源精准地落在每一块瓷砖的中心。”
“这需要极高的工艺控制。但比控制应力要简单。”
黄河思考了良久。
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